半导体洁净车间对消防系统的要求极为严苛，需满足 “无残留、不污染、护设备” 三大核心需求，半导体洁净车间气体灭火方案的选型直接影响生产安全与产品质量。其中，IG541 气体灭火系统凭借惰性气体的天然优势，成为适配性最优的选择。
《电子工业洁净厂房设计规范》明确要求，洁净车间灭火系统不得产生残留污染物。IG541 由氮气、氩气、二氧化碳混合而成，灭火后气体自然扩散，无任何残留，不会污染晶圆、光刻胶等精密产品。某芯片制造厂的洁净车间消防设计中，采用 IG541 系统保护光刻间，当设备短路起火时，系统 10 秒内喷放灭火，未对晶圆造成任何污染，生产仅中断 2 小时即恢复。
此外，IG541 的安全无毒属性，确保车间操作人员无需紧急撤离，避免了人员疏散对生产的影响。在半导体车间用什么灭火系统的决策中，IG541 系统既满足消防规范，又能保障生产连续性，是半导体行业的标杆方案。
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